桌面光刻机企业-桌面光刻机-顶旭

装箱清单

1、桌面微型紫外光刻机主机 1台

2、匀胶机 1台

3、热板 2台

4、数显测厚规千分款 1只

5、显微镜 1台 选配

6、耗材：硅片、掩膜版、su8光刻胶 需额外购买

顶旭苏州微控技术有限公司是一家---于微流控领域的---企业，我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。

su8模具制备流程

1.后烘

将---后的硅片放置在热板上，进行后---烘烤，以---光刻胶的交联反应完成。举例说明：目标胶厚度50um，桌面光刻机设计，设置温度65℃，烘烤7min，然后温度95℃，烘烤3min

2.显影

将硅片放入显影剂中，使未---部分的光刻胶溶解，桌面光刻机，形成模具的图案。显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min

3.清洗

将显---的硅片用---chun溶剂进行清洗，去除多余的光刻胶。

4.检查

使用显微镜检查制备的su-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，确认图案的清晰度和。

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