黑龙江显影机-顶旭(图)

桌面光刻机

---光源：紫外led光源波长：365nm;---面积：4英寸、6英寸可选；---方式：单面接触式定时---；---分辨率：2um；---强度：20~200mw/cm2可调；---不均匀性：≤5%；光源平行性：≤2°；光源寿命：***20000h；电源输入：ac220v±10v，50hz功率：250w重量：25kg外形尺寸：382长*371宽*435高工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %

耗材

光刻掩膜板

菲林掩膜板适用于制备线条宽度较大的结构，通常在20微米以上。这种掩膜板制备简单，适合制备相对宽大和较粗糙的图案。然而，由于其分辨率有限，无法满足制备细致微结构的需求。因此，对于需要制备线条宽度大于20微米的简单结构，菲林掩膜板是一个合适的选择。

玻璃掩膜板适用于制备线条宽度小于20微米的精细结构，以及需要多层对准的情况。玻璃掩膜板的制备工艺复杂，但由于其高分辨率，能够实现更细致、更精que的微结构。---是在需要制备复杂多层结构且对准精度要求较高的情况下，显影机，玻璃掩膜板具有明显优势。

在选择掩膜板类型时，应根据所需制备的图案特性、线条宽度以及对制备精度和复杂度的要求进行权衡。菲林掩膜板适用于相对简单的结构，而玻璃掩膜板则更适合制备更细致和复杂的微结构。综合考虑制备目标和技术要求，选择适当的掩膜板类型将有助于---制备过程的成功和效率。

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