顶旭光刻机广泛适用于微流控芯片、mems器件、光电子器件以及声表面波器件等制备领域。其性能尤其适合高校、科研院所以及企业展开微细加工工艺研究。紧随现代技术的步伐,顶旭桌面微型光刻机的问世为微纳加工注入了新的活力,助力客户在项目目标的实现过程中迈向更---、更具---性的阶段。
顶旭苏州微控技术有限公司是一家---于微流控领域的---企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案
技术参数
---光源:紫外led光源波长:365nm;
---面积:4英寸、6英寸可选;
---方式:单面接触式定时---;
---分辨率:2um;
---强度:20~200mw/cm2可调;
---不均匀性:≤5%;
光源平行性:≤2°;
光源寿命:***20000h;
电源输入:ac220v±10v,显影机,50hz
功率:250w
重量:25kg
外形尺寸:382长*371宽*435高
工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %
顶旭苏州微控技术有限公司是一家---于微流控领域的---企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等quan面的微流控解决方案。公司团队拥有丰富的经验和技术积累,持续将专ye知识与---思维相结合,为客户提供高pin质的解决方案。
---操作步骤
1、安装硅片:将待---硅片平放在设备的载台上,---位置准确。
2、放置光刻板:将光刻板平放在硅片上方,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。
3、设定---参数:使用控制面板设置---时间和强度,根据具体需求进行调整。
4、启动---:确认参数设定无误后,---启动按钮,设备将开始进行---。
5、监控---过程:在---过程中,您可以通过设备界面监控---进度,---一切顺利进行。
6、---完成:---结束后,设备会发出提示,取出硅片和光刻板。
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